Зебрев Г.И.: Физические основы кремниевой наноэлектроники: Учебное пособие для вузов
(fb2, 240 страниц, 1 217 Kb)
Жанр : Нанотехнологии
Издательство : Бином. Лаборатория знаний
Год издания : 2014
Аннотация:
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».